深硅刻蝕機國際招標澄清或變更公告(1)

澄清或變更簡要說明：變更招標文件
點擊登錄查看受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于****在中國國際招標網發布變更公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:名稱：深硅刻蝕機
數量：1臺
原理及用途：
基本原理：把射頻能量通過頂部線圈感應產生的磁場耦合到腔體內，交變磁場在真空環境中使氣體電離而形成等離子，底部射頻產生直流偏壓，頂部射頻控制離子濃度而底部射頻控制離子能量，加速離子到達硅片表面產生物理和化學的刻蝕反應。
用途：本設備主要用于MEMS產品中各種硅槽刻蝕。
資金到位或資金來源落實情況:已到位
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:****
招標項目名稱:深硅刻蝕機
項目實施地點:中國安徽省
招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	深硅刻蝕機	1	對于6/8英寸晶圓片，1.2μmTrench硅刻蝕@負載面積≤5%應滿足以下指標 （1）刻蝕深寬比：≥14:1； （2）刻蝕均勻性：≤5%（片內），≤5%（片間），≤5%（批間）。其他參數詳見第八章	無

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:①投標人如為境內企業，提供企業法人營業執照或事業單位法人證書，如為境外企業提供企業注冊登記證。
②投標人可以是設備制造廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書。
③投標人開戶行開具的，出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。
④投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力（提供相關證明材料或承諾書，承諾書格式自擬）。
⑤單位負責人授權書原件。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:****
招標文件領購結束時間:****
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點：蘇美達大廈9樓西側（南京市****
招標文件售價:￥2000/$225
其他說明:每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京時間，節假日除外）不購買招標文件的不得參加投標。聯系人郵箱：****@sumec.com.cn。
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:**** 09:30
投標文件送達地點:安徽省蚌埠市****
開標地點:安徽省蚌埠市****
6、聯系方式
招標人:點擊登錄查看
地址:安徽省蚌埠市****
聯系人:點擊登錄查看
聯系方式:****
招標代理機構:點擊登錄查看
地址:南京長江路198號9樓
聯系人:江岳峰/朱志云/周 翠
聯系方式:****、****
7、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):
招標代理機構開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):