2026年銅陵學院銅基新材料與先進制造學科群科研儀器設備更新改造項目-半導體材料微納加工項目招標預告（原標題：2026年銅陵學院銅基新材料與先進制造學科群科研儀器設備更新改造項目-半導體材料微納加工項目）

本項目擬引進涵蓋光刻等核心工藝模塊的微納加工集成系統，支持從微米尺度的圖形化制造。系統需兼容硅基、二維材料、柔性襯底等多種基底，具備高對準精度及多步工藝流程自動化控制功能。將用于構建新型光電探測器、場效應晶體管、神經形態器件、微機電系統（MEMS）等原型器件。擬購置集成磁控濺射與電子束蒸發功能的多腔室薄膜沉積系統。設備需支持直流/射頻/脈沖多種電源模式，具備多靶位共濺射、反應濺射及基片加熱偏壓調控功能；蒸發源需配置多位坩堝及高精度膜厚實時監控儀（精度達埃級）。系統將用于制備高致密金屬電極、介質層、光學薄膜及超導材料等，滿足微納器件制造中對薄膜成分、厚度及均勻性的嚴苛要求，支撐半導體工藝研發與高端人才培養。

本項目非專門面向中小企業